在真空技術(shù)中，需要測(cè)量各種參數(shù)，其中zui重要的是真空度，而測(cè)量真空度的范圍很廣，這樣寬的壓強(qiáng)范圍不可能只用某一種通用的真空計(jì)來(lái)進(jìn)行測(cè)量。目前，根據(jù)氣體壓強(qiáng)的各種物理現(xiàn)象研制了各式各樣的真空計(jì)，供真空測(cè)量所用。

　　現(xiàn)有U形真空計(jì)、壓縮真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電離真空計(jì)、放射性真空計(jì)和磁控放電真空計(jì)等.

　　zui常見(jiàn)的真空計(jì)是熱偶真空計(jì)。

　　在低真空下，氣體的導(dǎo)熱性和壓強(qiáng)有關(guān)，壓強(qiáng)愈高，則分子密度就愈大，氣體的導(dǎo)熱性就愈好;反之，當(dāng)壓強(qiáng)愈低(即真空度愈高)時(shí)，氣體的導(dǎo)熱就愈差.利用氣體導(dǎo)熱性與真空度之間的關(guān)系，制成各種類型的熱傳導(dǎo)真空計(jì)。

　　常用的熱偶式真空計(jì)(簡(jiǎn)稱熱偶計(jì))結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，真空計(jì)管(又稱規(guī)管)由玻璃制作，管內(nèi)兩根支架上焊一根熱絲(FTF)，另外兩根支架上焊接一對(duì)熱電偶(ET和NT),熱絲和熱偶在交叉點(diǎn)T焊接或連接。熱絲的加熱電源由穩(wěn)定電源供給，其大小由電位器W調(diào)節(jié)，用毫伏表G測(cè)量R上電壓降，便知加熱電流大小。當(dāng)接通熱絲電K時(shí).熱偶兩端產(chǎn)生的熱電勢(shì)也可用毫伏表G測(cè)量.

　　在測(cè)量時(shí)應(yīng)保持熱絲的加熱電流不變.由于熱偶計(jì)規(guī)管制造時(shí)其特性有差異，每個(gè)規(guī)管的工作電流也不一樣，一般在100~120mA之間.在使用規(guī)管之前，首先要確定加熱電流的大小，一般規(guī)管在出廠之前都會(huì)進(jìn)行封口.因此，規(guī)管在沒(méi)打開(kāi)之前.先將它的工作電流測(cè)出。長(zhǎng)期工作后，由于熱絲表面玷污污等原因，使規(guī)管特性有所變化，在清洗后要重新確定熱絲加熱電流.

　　熱偶計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是可測(cè)蒸氣和氣體總壓強(qiáng).能連續(xù)指示系統(tǒng)中壓強(qiáng)變化.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，還可遠(yuǎn)距離測(cè)量。其缺點(diǎn)是讀數(shù)與氣體種類有關(guān)，有熱慣性，讀數(shù)滯后于壓強(qiáng)的變化，環(huán)發(fā)溫度變化對(duì)測(cè)量稍有影響。