電阻真空計(jì)的校準(zhǔn)
電阻真空計(jì)作為工作用計(jì)量器具,越來越廣泛地應(yīng)用到航空航天、高能物理、材料科學(xué)、生命科學(xué)、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)。由于真空技術(shù)蓬勃發(fā)展,對(duì)真空計(jì)量的需求和要求也越來越高。但是電阻真空計(jì)的檢測(cè),直至目前仍然沒有相應(yīng)的國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)依據(jù)。
為能夠合理有效地*我國(guó)在電阻真空計(jì)校準(zhǔn)工作技術(shù)依據(jù)的空白,使電阻真空計(jì)校準(zhǔn)工作有據(jù)可依,保證我國(guó)電阻真空計(jì)計(jì)量器具的量值準(zhǔn)確可靠,制定《電阻真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》。
真空計(jì)又稱真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。
電阻真空計(jì)的校準(zhǔn)一般為先校準(zhǔn)零點(diǎn),再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。
(校準(zhǔn)零點(diǎn)需對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空,一旦電離規(guī)測(cè)得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa),按“校零”按鈕,對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正零點(diǎn),當(dāng)顯示1.0^-1Pa時(shí),表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。對(duì)于無自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。
校準(zhǔn)完零點(diǎn)后,需對(duì)其滿度校正。按滿度校正過程要求,對(duì)被測(cè)爐腔放人大氣,確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài),在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕,對(duì)應(yīng)指示燈亮或快速閃爍,真空計(jì)自動(dòng)校正滿度,當(dāng)顯示1.0^5Pa時(shí),表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。對(duì)于無自動(dòng)滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì),可通過操作面板上的電位器旋鈕手動(dòng)調(diào)整。