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真空計(jì)不同分類(lèi)方法

更新時(shí)間:2017-06-20      瀏覽次數(shù):1478
   真空計(jì)不同分類(lèi)方法
  真空計(jì),又叫真空表,是測(cè)量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測(cè)量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。真空計(jì)種類(lèi)繁多,為了研究和使用方便,合理分類(lèi)是很重要的。角度不同,分類(lèi)方法也不同,在這里筆者介紹兩種常用的分類(lèi)法。
  按真空計(jì)刻度方法分類(lèi)
  (1)真空計(jì):直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力計(jì)確定。真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)。屬于真空計(jì)的有 U 型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。
 ?。?)相對(duì)真空計(jì):由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能刻度。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管和用于控制、指示的測(cè)量器組成,讀數(shù)與氣體種類(lèi)有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類(lèi)很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。
  按真空計(jì)測(cè)量原理分類(lèi)
  按真空計(jì)測(cè)量原理分類(lèi),可以分成直接測(cè)量真空計(jì)和間接測(cè)量真空計(jì)。直接測(cè)量真空計(jì)系直接測(cè)量單位面積上的力,屬于這類(lèi)真空計(jì)的有:
 ?。?)靜態(tài)液位真空計(jì)。利用 U 型管兩端液面差來(lái)測(cè)量壓力。
  (2)彈性元件真空計(jì)。利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來(lái)測(cè)量壓力值的大小。
  壓力為 10-1 Pa 時(shí),作用在 1cm^2 表面上的力只有 10-5 N,顯然測(cè)量這樣小的力是困難的,但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來(lái)間接測(cè)量壓力的變化。屬于間接測(cè)量真空計(jì)的有:
 ?。?)壓縮式真空計(jì)。其原理是在 U 型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增大,以便用 U 型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。
 ?。?)熱傳導(dǎo)真空計(jì)。利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。
 ?。?)熱輻射真空計(jì)。利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。
 ?。?)電離真空計(jì)。利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱如熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。
  (5)放電管指示器。利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般僅能作為定性測(cè)量。
 ?。?)粘滯真空計(jì)。利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計(jì)和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)。
  (7)場(chǎng)致顯微儀。以吸附和解吸時(shí)間與壓力的關(guān)系計(jì)算壓力。
 ?。?)分壓力真空計(jì)。利用質(zhì)譜技術(shù)進(jìn)行混合氣體分壓力測(cè)量。常用的有四極質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)和射頻質(zhì)譜計(jì)等。

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