熱偶真空計，也被稱為熱傳導(dǎo)真空計或皮拉尼真空計，是一種用于測量低至中等真空度(大約10^3至10^-3帕斯卡)的儀器。這種真空計的工作原理是基于氣體的熱導(dǎo)率與壓力之間的關(guān)系。在真空環(huán)境中，氣體的分子數(shù)量減少，因此其熱導(dǎo)率會降低，通過測量這種熱導(dǎo)率的變化來確定真空度。
 

　　熱偶真空計主要由兩個主要部分組成：一個是加熱元件，通常是一個熱絲；另一個是溫度傳感器，通常是熱電偶。這兩個部分被封裝在一個封閉的容器內(nèi)，該容器與需要測量的真空系統(tǒng)相連。
 

　　1.加熱元件：加熱元件通常是一根細(xì)絲，如鎢絲，它通過電流加熱到一定的溫度。這個溫度通常遠(yuǎn)高于周圍環(huán)境的溫度。
 

　　2.溫度傳感器：溫度傳感器是一個熱電偶，它能夠準(zhǔn)確地測量加熱元件的溫度。當(dāng)氣體壓力變化時，加熱元件的溫度也會隨之變化，這種變化會被熱電偶檢測到。
 

　　工作原理：
 

　　在真空環(huán)境下，加熱元件的熱量主要通過氣體分子傳遞到周圍環(huán)境。當(dāng)氣體的壓力較高時，氣體分子較多，熱傳導(dǎo)效率較高，加熱元件的溫度相對較低。反之，當(dāng)氣體壓力較低時，氣體分子較少，熱傳導(dǎo)效率降低，加熱元件的溫度相對較高。
 

　　熱電偶測量加熱元件的溫度并將其轉(zhuǎn)換為電信號，這個電信號與氣體的壓力有直接關(guān)系。通過校準(zhǔn)，可以將這個電信號轉(zhuǎn)換為具體的氣體壓力值，從而實現(xiàn)對真空度的測量。
 

　　熱偶真空計在低至中等真空范圍內(nèi)具有很高的測量精度；與其他類型的真空計相比，穩(wěn)定性較好，不易受到外界因素的影響；對壓力變化的響應(yīng)速度較快，適合動態(tài)測量，廣泛應(yīng)用于各種需要準(zhǔn)確測量真空度的場合，如實驗室、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、材料研究等領(lǐng)域。它的高精度和穩(wěn)定性使得它成為這些領(lǐng)域不可少的測量工具。